О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 1. Общее описание основных направлений исследования
Автор: Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры
Статья в выпуске: 2 т.15, 2005 года.
Бесплатный доступ
Данная статья, открывающая цикл работ, посвящена общему описанию основных направлений исследования, непосредственно связанных с новыми возможностями "нулевой" эллипсометрии, метрологией эллипсометрии, а также с реальной структурой поверхности.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264388
IDR: 14264388
Статья обзорная
