О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 1. Общее описание основных направлений исследования
Автор: Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры
Статья в выпуске: 2 т.15, 2005 года.
Бесплатный доступ
Данная статья, открывающая цикл работ, посвящена общему описанию основных направлений исследования, непосредственно связанных с новыми возможностями "нулевой" эллипсометрии, метрологией эллипсометрии, а также с реальной структурой поверхности.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264388
IDR: 14264388 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures.I. General description of main lines of research
This paper, which starts a series of papers, gives a general description of main lines of research directly related to the new capabilities of "" ellipsometry, metrology of ellipsometry, and real surface structure.
