О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 8. Эллипсометрия анизотропных сред. Метод обобщенных измерительных зон
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 2 т.17, 2007 года.
Бесплатный доступ
Работа посвящена последовательному изложению "нулевой" эллипсометрии анизотропных сред. Рассмотрены особенности и способы их устранения в методе обобщенных измерительных зон прибора. Изложены общие положения матричного метода в оптике анизотропных слоистых сред, подробно рассмотрен случай одноосного кристалла с произвольной ориентацией оптической оси и проанализированы предельные ситуации, связанные с расположением оптических осей. С помощью матричного метода и нового, более естественного представления для общего поля в подложке заново рассмотрены комплексные амплитудные коэффициенты отражения, на основе которых строятся основные уравнения эллипсометрии анизотропных сред, при этом прослежено поведение двух плоских волн в анизотропной подложке при переходе к "изотропному" случаю. Сделан также анализ особенностей обратной задачи эллипсометрии для случая анизотропных сред.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264482
IDR: 14264482 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 8. Ellipsometry of anisotropic mediums. Method of generalized measurement zones
The goal of this paper is to describe step by step the method of "zero" ellipsometry of anisotropic mediums. Peculiarities and methods for their elimination within the scope of the instrument generalized measurement zones technique are considered. The paper presents general provisions of the matrix method in the field of anisotropic lamellar medium optics; the case of a monoaxial crystal with an arbitrary orientation of the optical axis is considered in details; ultimate situations with different optical axis orientations are analyzed. Using the matrix method and a new, more natural, representation of the common field in the substrate, complex amplitude reflection factors were reconsidered; those factors are used to derive basic equations of anisotropic medium ellipsometry; the behavior of two plane waves in an anisotropic substrate in the process of turning to the "isotropic" case are analyzed. In addition, analysis of the inverse ellipsometry problem peculiar features for anisotropic mediums has been performed.
