О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 9. О возможностях регулирования и стабилизации параметров фазового компенсатора эллипсометра
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 3 т.17, 2007 года.
Бесплатный доступ
Работа посвящена изучению идеального фазового компенсатора с диагональной матрицей Джонса. Предложен процесс оптической юстировки, обеспечивающий при наличии механизма пространственной ориентации переход к идеальному компенсатору. Получены формулы для комплексного параметра ρ (действительных параметров δ и f), определяющего матрицу Джонса идеального компенсатора. В связи с этим изучена четырехмерная матрица однородного анизотропного слоя для случая произвольной ориентации двух главных осей в плоскости падения светового луча. Рассмотрены методы регулирования основного фазового параметра δ включая процессы температурной стабилизации и способы изменения величины этого параметра за счет изменения угла падения светового луча на пластину компенсатора.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264502
IDR: 14264502 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 9. On controllability and stabilizability of the ellipsometer phase compensator parameters
The goal of the paper is to study an ideal phase compensator with the Jones diagonal matrix. We have proposed a method of optical alignment that ensures, if the mechanism of spatial orientation is available, a conversion into the ideal compensator. Equations for complex parameter ρ (real parameters δ and f) that determines the ideal compensator Jones matrix have been derived. In this connection, a four-dimensional matrix of a homogeneous anisotropic layer for the case of arbitrary orientation of two main axes in the light ray plane of incidence has been analyzed. The paper considers methods for controlling the basic phase parameter δ, including those for temperature stabilization and varying this parameter by changing the light ray angle of incidence onto the compensator plate.
