О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 10. Методы определения поляризационных углов в "нулевой" эллипсометрии. Проблема повышения точности
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 4 т.17, 2007 года.
Бесплатный доступ
В работе в связи с проблемой повышения точности эллипсометрических измерений дан последовательный вывод и анализ зонных соотношений "нулевой" эллипсометрии для общего случая произвольной ориентации "быстрой" оси компенсатора относительно плоскости падения. Эти зонные соотношения определяют поляризационные углы Ψ и Δ (по положениям гашения оптических элементов) в каждой из 4 измерительных зон. Обобщена на общий случай процедура усреднения поляризационных углов (зонных соотношений) по парам измерительных зон. Показано, что такая процедура приводит к ослаблению явной зависимости от параметров компенсатора лишь в достаточно узком интервале угловых положений "быстрой" оси компенсатора. Обсуждена проблема повышения точности эллипсометрических измерений в тех областях значений Ψ и Δ которым соответствует слабая выраженность (по одному или двум параметрам гашения) минимума интенсивности светового пучка на выходе анализатора. Есть все основания считать, что можно существенно усилить выраженность данного минимума, подбирая нужное положение "быстрой" оси. Проблема повышения точности измерений в "нулевой" эллипсометрии будет подробно рассмотрена в следующей работе.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264511
IDR: 14264511 | УДК: 355.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 10. Null ellipsometry methods for measuring polarization angles. Problem of accuracy improvement
In connection with the problem of ellipsometry accuracy improvement, the paper presents successive derivation and analysis of ellipsometry zonal relations for a general case of arbitrary orientation of the compensator "fast" axis with respect to the plane of incidence. Those zonal relations define polarization angles Ψ and Δ (by the positions of optical elements quenching) in each of 4 measurement zones. The technique of averaging the polarization angles (zonal relations) over the pairs of measuring zones has been generalized. The paper demonstrates that such a procedure makes weaker the explicit dependence on the compensator parameter only in a sufficiently narrow interval of the compensator "fast" axis angular positions. The problem of ellipsometric measurement accuracy improvement in the Ψ and Δ ranges where the intensity minimum of light beam at the analyzer output is weakly defined (by one or two quenching parameters) is discussed. Weight of evidence suggests that this minimum can be considerably intensified by fitting the "fast" axis position. The problem of ellipsometry measurement accuracy improvement will be considered in details in the next paper.
