О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 12. Способы экспериментального определения положений гашения оптических элементов
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, модели, методы и методики измерений
Статья в выпуске: 2 т.18, 2008 года.
Бесплатный доступ
В работе проведен теоретический анализ, охватывающий общий случай произвольных измерительных конфигураций, причем при любых значениях поляризационных углов PSI и DELTA, характеризующих исследуемую поверхность. Этот анализ позволяет изучить особые ситуации в измерении положений гашения оптических элементов, имеющие большое практическое значение, и наметить пути к устранению возникающих здесь трудностей. Классифицированы возможные методы измерения положений гашения оптических элементов (анализатора и поляризатора) для произвольной измерительной конфигурации, определяемой положением "быстрой" оси фазового компенсатора относительно плоскости падения светового луча. Обоснована возможность разделения (по конфигурациям) процесса измерения поляризационных углов PSI и DELTA в ситуациях, связанных с малыми значениями угла PSI. Рассмотрена задача о выборе единой оптимальной измерительной конфигурации, обеспечивающей достаточное разрешение по обоим поляризационным углам в случае малых углов PSI.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264536
IDR: 14264536 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 12. Experimental definition means of standings of optical elements clearing
The work presents theoretical analysis including a general case of arbitrary measuring configurations at any values of polarization angles PSI and DELTA, characterizing the examined surface. This analysis allows to study special situations in measuring of standings of clearing of the optical elements, having great practical value, and to develop means for the elimination of the arising difficulties. Possible methods of measuring of standings of clearing of optical devices (the evaluator and a polarizer) for arbitrary configuration determined by a standing of a "prompt" axis of a phase balance concerning a plane of incidence of a light ray are categorized. Partitioning possibility (on configurations) process of measuring of polarization angles PSI and DELTA in the situations bound to small values of angle PSI is proved. The problem of choice of a single optimum measuring configuration providing the sufficient resolution on both polarization angles in case of small angles PSI is discussed.
