О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 14. Межзонный разброс поляризационных углов как метрологический критерий. О влиянии различных факторов
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы
Статья в выпуске: 1 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрена проблема "нулевой" эллипсометрии, связанная с наблюдающимся в эксперименте разбросом поляризационных углов и по измерительным зонам. Проанализированы такие факторы, влияющие на разброс, как ошибки в задании параметров фазового компенсатора и наличие поверхностной анизотропии образцов. Очевидно, это не единственные факторы. Актуальность этой задачи диктуется возможностью использования межзонного разброса углов и в качестве нового метрологического критерия "нулевой" эллипсометрии. Учет фактора поверхностной анизотропии требует более детального рассмотрения обобщенных зонных соотношений эллипсометрии анизотропных сред. Это тоже одна из задач настоящей работы. Что же касается неоднородности отражающей поверхности, обусловленной также и наличием нарушенного поверхностного слоя, то ее изучение по межзонному разбросу поляризационных углов является отдельной задачей, представляющей большой интерес. Это уже выход на метрологию поверхности.
Эллипсометрия, поляризационные углы, измерительные зоны, межзонный разброс, метрологический критерий, фазовый компенсатор, анизотропия
Короткий адрес: https://sciup.org/14264582
IDR: 14264582 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 14. Interzoned disorder of polarization angles as metrological criterion. Influence of different factors
The problem of a "" ellipsometry connected with the straggling of polarization angles Δ and Ψ on measuring bands observed in the experiment is discussed. Such factors as errors in the assignment of parameters of a phase compensator and superficial anisotropy of samples were analyzed. Certainly these are not the only factors. The urgency of this problem is determined by the use of possibility of interzone straggling of Δ and Ψ angles as a new metrological criterion a "" ellipsometry. Taking into account superficial anisotropy factor requires more detailed consideration of the extended zone relations of anisotropic media ellipsometry. This is also one of the problems of the present work. As to heterogeneity of the catopter caused also by the presence of the broken surface layer, its study by interzone disorder of polarization angles is another problem of great interest. It is a problem of surface metrology.
