О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 14. Межзонный разброс поляризационных углов как метрологический критерий. О влиянии различных факторов

Рассмотрена проблема "нулевой" эллипсометрии, связанная с наблюдающимся в эксперименте разбросом поляризационных углов и по измерительным зонам. Проанализированы такие факторы, влияющие на разброс, как ошибки в задании параметров фазового компенсатора и наличие поверхностной анизотропии образцов. Очевидно, это не единственные факторы. Актуальность этой задачи диктуется возможностью использования межзонного разброса углов и в качестве нового метрологического критерия "нулевой" эллипсометрии. Учет фактора поверхностной анизотропии требует более детального рассмотрения обобщенных зонных соотношений эллипсометрии анизотропных сред. Это тоже одна из задач настоящей работы. Что же касается неоднородности отражающей поверхности, обусловленной также и наличием нарушенного поверхностного слоя, то ее изучение по межзонному разбросу поляризационных углов является отдельной задачей, представляющей большой интерес. Это уже выход на метрологию поверхности.