О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 15. Метрология "нулевой" эллипсометрии. Фактор оптической юстировки фазового компенсатора
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы, исследования, методики
Статья в выпуске: 2 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены вопросы, относящиеся к процедуре оптической юстировки фазового компенсатора эллипсометра. Изучены особенности такой юстировки. Получены уравнения, позволяющие существенно упростить процесс определения всех трех комплексных параметров компенсатора. Предложена процедура оптической калибровки неоднородного компенсатора.
Эллипсометрия, межзонный разброс, поляризационные углы, фазовый компенсатор, матрица джонса, оптическая калибровка, оптическая юстировка
Короткий адрес: https://sciup.org/14264594
IDR: 14264594
Статья научная
