О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 15. Метрология "нулевой" эллипсометрии. Фактор оптической юстировки фазового компенсатора
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы, исследования, методики
Статья в выпуске: 2 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены вопросы, относящиеся к процедуре оптической юстировки фазового компенсатора эллипсометра. Изучены особенности такой юстировки. Получены уравнения, позволяющие существенно упростить процесс определения всех трех комплексных параметров компенсатора. Предложена процедура оптической калибровки неоднородного компенсатора.
Похожие статьи в разделе Оптика
Короткий адрес: https://sciup.org/14264594
IDS: 14264594 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 15. Metrology of the null ellipsometry. Factor of the optical alignment of the phase compensator
The questions concerning procedure of an optical alignment of a phase compensator of an ellipsometer are discussed. Features of such alignment are studied. The equations allowing essentially to simplify process of definition of all three complex parameters of the compensator are obtained. Procedure for optical calibration of the nonuniform compensator is suggested.
