О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 16. Метрология "нулевой" эллипсометрии. О способах определения полного набора комплексных параметров фазового компенсатора
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 4 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрены способы определения трех комплексных параметров ρ, ρ1 и ρ2 фазового компенсатора. Один из этих способов основан на использовании только лишь юстировочных процедур и предполагает достаточно выраженную неидеальность компенсатора, обусловленную заметным отличием малых параметров ρ1 и ρ2 от нуля. Другой же способ представляет собой комбинированный подход, когда используются и юстировочные процедуры, и инварианты эллипсометрии изотропных сред. Подробно рассмотрен процесс оптической калибровки неоднородного компенсатора с использованием обоих способов.
Эллипсометрия, фазовый компенсатор, матрица джонса, оптическая калибровка, оптическая юстировка, инварианты эллипсометрии
Короткий адрес: https://sciup.org/14264622
IDR: 14264622 | УДК: 535.5.511:531.7
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 16. Metrology of the null ellipsometry. Methods for determination of complete set of phase compensator complex parameters
The work describes methods for determination of the phase compensator three complex parameters ρ, ρ1 and ρ2. One of these is based only on positioning procedures and suggests rather expressed imperfection of the compensator, which is due to the appreciable difference of the small parameters ρ1 and ρ2 from . Another method is a combined approach when both positioning procedures and invariants of ellipsometry of isotropic media are used. The process of optical calibration of the non-uniform compensator using both methods is described in details.
