О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 16. Метрология "нулевой" эллипсометрии. О способах определения полного набора комплексных параметров фазового компенсатора
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 4 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрены способы определения трех комплексных параметров ρ, ρ1 и ρ2 фазового компенсатора. Один из этих способов основан на использовании только лишь юстировочных процедур и предполагает достаточно выраженную неидеальность компенсатора, обусловленную заметным отличием малых параметров ρ1 и ρ2 от нуля. Другой же способ представляет собой комбинированный подход, когда используются и юстировочные процедуры, и инварианты эллипсометрии изотропных сред. Подробно рассмотрен процесс оптической калибровки неоднородного компенсатора с использованием обоих способов.
Эллипсометрия, фазовый компенсатор, матрица джонса, оптическая калибровка, оптическая юстировка, инварианты эллипсометрии
Короткий адрес: https://sciup.org/14264622
IDR: 14264622
