О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 17. Метрология "нулевой" эллипсометрии. Об особенностях эксперимента по определению параметров фазового компенсатора
Автор: Семененко Альберт Иванович, Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, методики
Статья в выпуске: 1 т.20, 2010 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены особенности эксперимента по определению параметров неидеального фазового компенсатора. Изучен характер межзонного разброса поляризационных углов, обусловленного неточным заданием не только основного фазового параметра ρ, но и малых параметров ρ1 и ρ2, определяющих недиагональные элементы матрицы Джонса компенсатора. Изучена также процедура усреднения поляризационных углов по измерительным зонам с учетом неидеальности компенсатора. Проанализированы выражения, полученные с использованием инвариантов эллипсометрии и определяющие основные параметры f и δ неидеального компенсатора. При этом параметры ρ1 и ρ2, входящие в инварианты, выражены через основной параметр ρ линейными соотношениями, полученными с помощью юстировочных процедур. Проведен анализ экспериментальных данных, полученных на четырех образцах кремния со сверхтонкими пленками SiO2 на них. Сделан вывод о существенной неоднородности кварцевого компенсатора эллипсометра ЛЭФ-3М-1, работающего по нулевой схеме. Сделан также важный вывод о возможности оценки неоднородности отражающей поверхности образцов по характеру межзонного разброса поляризационных углов.
Эллипсометрия, фазовый компенсатор, матрица джонса, оптическая юстировка, инварианты эллипсометрии, межзонный разброс, поляризационные углы
Короткий адрес: https://sciup.org/14264643
IDR: 14264643 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 17. Metrology of the null ellipsometry. On the features of the experiment by definition of parameters of the phase compensator
Features of experiment by definition of parameters of a nonideal phase compensator were studied. Character of the interzone polarization angles spread caused by an inexact specification of not only the basic phase parameter ρ, but also small parameters ρ1 and ρ2, defining nondiagonal elements of Johns matrix of the compensator, was studied. Procedure of averaging of polarization angles on measuring bands considering nonideal compensator was also studied. The expressions obtained with the use of invariants of ellipsometry and specifying key parameters f and δ of the nonideal compensator were analyzed. Parameters ρ1 and ρ2, entering the invariants, are expressed through the key parameter ρ by the linear relations obtained with the help of adjustment procedures. The analysis of the experimental data obtained on four silicon samples with the hyperfine films SiO2 on them was carried out. The conclusion on significant heterogeneity of the quartz compensator of ellipsometer "LEF-3М-1" working under the zero scheme was made. The important conclusion on the possibility of estimation of heterogeneity of the reflecting surface of samples on the character of interzone spread of polarization angles.
