О возможностях и особенностях метода эллипсометрии при исследовании поверхности жидкостей
Автор: Ковальчук А.В., Митина А.А., Полушкин Е.А., Гальперин Э.И., Дюжева Т.Г., Семененко И.А., Семененко Альберт Иванович, Шаповал С.Ю.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 4 т.26, 2016 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрена процедура решения обратной задачи эллипсометрии относительно всех параметров поверхностной структуры и объема жидкостей. Из-за слабого оптического контраста между поверхностью и объемом жидкости обратная задача математически некорректна. Для ее решения введена пробная функция. Получено наиболее общее выражение для этой функции. По особенностям пробной функции, которые проявляются вдоль траектории движения функционала обратной задачи к точке абсолютного (наиболее глубокого) минимума, находится оптимальное решение обратной задачи. Особое внимание уделено выбору начальной точки на траектории движения функционала, обеспечивающему устойчивость траектории. Общие закономерности в поведении пробной функции установлены на примере идеальной ситуации, а также в численном эксперименте, имитирующем реальную ситуацию. Показано, что оптимальное решение, полученное с использованием пробной функции, отличается высокой точностью.
Эллипсометрия, поляризационные углы, математически некорректная обратная задача, критерий, оптимальное решение, численный эксперимент, подложка, оптические постоянные
Короткий адрес: https://sciup.org/14265041
IDR: 14265041
Список литературы О возможностях и особенностях метода эллипсометрии при исследовании поверхности жидкостей
- Ковальчук А.В., Митина А.А., Полушкин Е.А., Гальперин Э.И., Дюжева Т.Г., Семененко И.А., Семененко А.И., Шаповал С.Ю. О возможностях спектральной эллипсометрии для исследования параметров плазмы крови больных хроническим панкреатитом. Полный факторный эксперимент//Научное приборостроение. 2014. Т. 24, № 2. С. 104-117. URL: http://213.170.69.26/mag/2014/full2/Art14.pdf.
- Семененко А.И., Семененко И.А. О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 19. О выборе оптимального решения обратной задачи при исследовании сверхтонких поверхностных пленок//Научное приборостроение. 2010. Т. 20, № 4. С. 132-142. URL: http://213.170.69.26/mag/2010/full4/Art16.pdf.
- Box M.J. A new method of constrained optimization and a comparison with other methods//Comp. Journ. 1965. Vol. 8, no. 1. P. 42-51 DOI: 10.1093/comjnl/8.1.42
- Семененко А.И., Семененко И.А. Исследование поверхностной структуры твердых тел и жидкостей методом эллипсометрии с учетом математической некорректности обратной задачи. 6. Об устойчивости решения обратной задачи. Модификация метода Бокса//Научное приборостроение. 2012. Т. 22, № 3. С. 69-77. URL: http://213.170.69.26/mag/2012/full3/Art11.pdf.
