On the scanning algorithm in spm with optical linear encoders
Автор: Golubok A.O., Gorbenko O.M., Kotov V.V., Sapozhnikov I.D., Felshtyn M.L.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 4 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
The algorithm of improving the space resolution in SPM equipped by typical linear optical encoders is suggested. The results of this algorithm implementation are demonstrated by the SPM- images of the test objects.
Scanning probe microscopy, optical linear encoders, microscanner, space resolution
Короткий адрес: https://sciup.org/14264624
IDR: 14264624
Статья научная
