Об алгоритме сканирования в сканирующих зондовых микроскопах с оптическими энкодерами линейных перемещений
Автор: Голубок А.О., Горбенко О.М., Котов В.В., Сапожников И.Д., Фельштын М.Л.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 4 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
В работе предложен алгоритм, улучшающий пространственное разрешение сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ), оснащенных серийными оптическими датчиками линейных перемещений. Результаты работы алгоритма демонстрируются на СЗМ-изображениях тестовых объектов.
Сканирующая зондовая микроскопия, оптические датчики линейных перемещений, микросканер, пространственное разрешение
Короткий адрес: https://sciup.org/14264624
IDR: 14264624
Статья научная
