Обеспечение температурной устойчивости параметров компенсатора эллипсометра

В современных эллипсометрах в качестве компенсатора чаще всего используется пластина одноосного кристалла с оптической осью, лежащей в плоскости пластины. Температурная неустойчивость эллипсометрических результатов при использовании данного компенсатора обусловлена его большой толщиной. Рассмотрен двойной компенсатор, состоящий из двух пластин одноосного кристалла, оптические оси которых лежат в плоскости пластин и взаимно перпендикулярны. Указаны его достоинства и недостатки. Как альтернатива ему предложено использование в качестве компенсатора пластины одноосного кристалла с оптической осью, образующей с нормалью к пластине сравнительно небольшой угол θ. Такой компенсатор может существенно снизить экспериментальные ошибки, связанные с температурными колебаниями.