Обоснование и практическое приложение методов решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии. 2. О решении обратной задачи на множестве наборов углов падения светового пучка
Автор: Семененко Альберт Иванович, Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Методы измерений
Статья в выпуске: 2 т.23, 2013 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрен способ решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии, основанный на использовании некоторого множества наборов углов падения светового пучка на образец. Показано, что решение обратной задачи на множестве наборов углов падения приводит к относительной простоте и надежности процесса решения, а также к большой точности, с которой определяются все четыре параметра отражающей системы со сверхтонкой пленкой. Предложенный способ решения позволяет преодолеть существенные трудности, возникающие, из-за сверхмалой толщины пленки, и в идеальном случае, когда отсутствуют экспериментальные ошибки, но применяется традиционный подход к решению обратной задачи относительно всех 4 параметров однослойной отражающей системы.
Эллипсометрия, поляризационные углы, математически некорректная обратная задача, критерий, оптимальное решение, численный эксперимент, сверхтонкая пленка, подложка, оптические постоянные
Короткий адрес: https://sciup.org/14264857
IDR: 14264857 | УДК: 535.5.511:531.7
Feasibility and practical supplement of solution methods for mathematically incorrect inverse problem of ellipsometry. 2. On solution of inverse problem on multiple set of light beam angle of incidence
The method for the mathematically incorrect inverse task of ellipsometry, based on the use of some set of sets angles of incidence of a light bunch on the sample is considered is discussed. It was shown, that the solution of the inverse task on set of angles of incidence results in a relative simplicity and reliability of the process of solution, and also to increased accuracy with which all four parameters of reflecting system with a super thin film are defined. The offered method of the solution allows to overcome the essential difficulties arising, because of a midget thickness of a film, and in an ideal case when there are no experimental errors, but the traditional approach to the solution of an inverse problem concerning all 4 parameters of single-layered reflecting system is used.
