Обоснование и практическое приложение методов решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии. 2. О решении обратной задачи на множестве наборов углов падения светового пучка

Рассмотрен способ решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии, основанный на использовании некоторого множества наборов углов падения светового пучка на образец. Показано, что решение обратной задачи на множестве наборов углов падения приводит к относительной простоте и надежности процесса решения, а также к большой точности, с которой определяются все четыре параметра отражающей системы со сверхтонкой пленкой. Предложенный способ решения позволяет преодолеть существенные трудности, возникающие, из-за сверхмалой толщины пленки, и в идеальном случае, когда отсутствуют экспериментальные ошибки, но применяется традиционный подход к решению обратной задачи относительно всех 4 параметров однослойной отражающей системы.