Определение параметров профиля трапецеидальной дифракционной решетки на основе полиномиальных аппроксимаций отраженного поля
Автор: Бабин Сергей Владимирович, Досколович Леонид Леонидович, Кадомин Иван Иванович, Кадомина Елена Андреевна, Казанский Николай Львович
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 2 т.33, 2009 года.
Бесплатный доступ
Представлены два новых метода решения обратной задачи рефлектометрии для оценки параметров дифракционной решетки с трапецеидальным профилем. Методы основаны на построении полиномиальных аппроксимаций разного вида для параметров нулевого отраженного порядка дифракции. Использование полиномиальных аппроксимаций вместо решения задачи дифракции обеспечивает возможность оценки параметров решетки в реальном времени. Приведенные результаты численного исследования свидетельствуют о высокой точности и скорости методов.
Дифракционная решетка, контроль параметров микро- и наноструктур, рефлектометрия
Короткий адрес: https://sciup.org/14058873
IDR: 14058873
