The sizing of diameter monitoring signal correction on crystal meniscus bump height change at contact monitoring method of monocrystal growth by Czochralski method
Автор: Sakhansky S.P., Laptenok V.D.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Авиационная и ракетно-космическая техника
Статья в выпуске: 4 (7), 2005 года.
Бесплатный доступ
In the contact monitoring method of diameter of monocrystalline ingot pulled from melt by Czochralsky method developed by the authors, sizing of diameter monitoring signal correction on crystal meniscus bump height change when growing conical part of crystal is important.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175138
IDR: 148175138
Статья научная