Определение величины коррекции сигнала управления по диаметру от изменения высоты столбика мениска кристалла при контактном методе управления выращиванием монокристаллов способом Чохральского
Автор: Саханский С.П., Лаптенок В.Д.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Авиационная и ракетно-космическая техника
Статья в выпуске: 4 (7), 2005 года.
Бесплатный доступ
Разработанный авторами контактный метод управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава по способу Чохральского позволяет определить величину коррекции сигнала управления по диаметру в зависимости от изменения высоты столбика мениска кристалла при выращивании конусной части кристалла.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175138
IDR: 148175138
Статья научная
