Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии
Автор: Хорунжий Д.Н., Яцышен В.В.
Журнал: НБИ технологии @nbi-technologies
Рубрика: Технические инновации
Статья в выпуске: 2, 2007 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14968123
IDR: 14968123
Список литературы Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии
- Магунов А.Н. Лазерная термометрия твердых тел. М.: Физматлит, 2001. 224 с.
- Coppola G., Ferrano P., Iodice M., De Nicola S. Method of measuring the refractive index and the thickness of transparent plates with a lateral-shear, wavelength-scanning interferometer//Applied Optics. 2003. Vol. 42. № 19. 1 July. Р. 3882-3887.
- Ibid.
- Ibid.
- Хоружий Д.Н., Яцышен В.В. Применение метода характеристических матриц при расчете оптических свойств диэлектрика с учетом температурных эффектов//Физика волновых процессов и радиотехнические системы. 2005. Т. 8. № 1. С. 22-25.
- Coppola G., Ferrano P., Iodice M., De Nicola S. Op. cit.
Статья