Оптическое измерение характеристик тонких пленок с помощью спиральных зонных пластинок

В работе предложен способ измерения физических характеристик плоских тонких образцов (тонких пленок) – толщины, показателя преломления и наклона. Измерения осуществляются с помощью вихревой спиральной зонной пластинки, формирующей три максимума интенсивности, которые вращаются при удалении от плоскости зонной пластинки. Погрешность измерения наклона образца составляет доли градуса, погрешность измерения его толщины – менее 5 нм. Моделирование показало, что после металинзы формируются три максимума интенсивности, которые вращаются в пространстве с угловой скоростью 136°/мкм, что почти вдвое больше, чем в аналогичных работах.