Особенности измерения субволнового фокусного пятна ближнепольным микроскопом
Автор: Стафеев Сергей Сергеевич, Котляр Виктор Викторович
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 3 т.37, 2013 года.
Бесплатный доступ
В работе численно и экспериментально исследовалось влияние полого металлического пирамидального кантилевера сканирующего ближнепольного оптического микроскопа на результат измерения характеристик субволнового фокусного пятна. На примере фокусировки линейно-поляризованного лазерного гауссова пучка с длиной волны λ=633 нм зонной пластинкой Френеля с фокусным расстоянием 532 нм было показано, что полый кантилевер из алюминия с углом при вершине 70° и отверстием 100 нм регистрирует преимущественно интенсивность поперечных компонент электрического поля. При этом фокусное расстояние равно 0,36λ, меньший диаметр эллиптического фокуса равен (0,40±0,02)λ, глубина фокуса – 0,59λ, а дифракционная эффективность – 12%.
Субволновая фокусировка лазерного света, зонная пластинка френеля, сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия, полый металлический пирамидальный кантилевер с отверстием в вершине, fdtd-метод
Короткий адрес: https://sciup.org/14059175
IDR: 14059175
Special aspects of subwavelength focal spot measurement using near-field optical microscope
In this paper we numerically and experimentally investigated the influence of the hollow pyramidal shape NSOM cantilever to the measured characteristics of subwavelength focal spot. Using linearly polarized Gaussian beam with wavelength 633 nm and Fresnel zone plate with focal length 532 nm it was shown that hollow cantilever with angle 70° and nanoaperture 100 nm detects preferably the transverse component of the electric field. The focal length was equal to 0,36λ, the smallest focal spot diameter was (0,40±0,02)λ, the depth of focus was 0,59λ and the diffractive efficiency was 12%.
