Особенности применения полупроводниковых тензо- и барорезисторов на основе сульфида самария
Автор: Каминский В.В., Молодых А.А., Степанов Николай Николаевич, Соловьев С.М., Володин Н.М., Иванов В.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры, исследования, приборы
Статья в выпуске: 2 т.21, 2011 года.
Бесплатный доступ
В работе описаны особенности свойств полупроводниковых тензо- и барорезисторов на основе сульфида самария (SmS), учет которых необходим при прочностных испытаниях и конструировании датчиков различных механических величин на их основе. Изложены особенности монтажа тензорезисторов. Приведены температурные зависимости сопротивления, коэффициентов тензо- и барочувствительности. Описаны возможности регулировки параметров тонкопленочных тензорезисторов с применением фазового перехода полупроводник-металл.
Тензодатчик, тензорезистор, барорезистор, полупроводник, моносульфид самария, тонкие пленки
Короткий адрес: https://sciup.org/14264721
IDR: 14264721