Особенности структуры композитных пленок Сu-С, полученных ионно-плазменным методом
Автор: Хамдохов З.М., Маргушев З.Ч.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 3 (63) т.16, 2024 года.
Бесплатный доступ
Решается задача нанесения и определения фазового состава медно-углеродного покрытия субмикронной толщины на кремниевой подложке. Пленка осаждалась ионноплазменным методом одновременного электродугового распыления меди и углерода из двух испарителей. Преимущество такого подхода состоит в возможности управления концентрацией соответствующих компонент в дуговом разряде и тем самым получать гладкие пленки разного химического и фазового состава. В результате анализа состава и структуры пленок различными методами установлено, что в осажденной пленке образуются аморфный углерод, нанографиты размером ~ 5 нм и наночастицы соединения карбида меди СщСД Полученный результат представляет интерес для решения задачи создания эффективных автоэмиссионных катодов.
Композитная пленка, одновременное электродуговое распыление меди и углерода из двух испарителей, автоэмиссионный катод, методы исследования состава и структуры поверхности
Короткий адрес: https://sciup.org/142242980
IDR: 142242980
Список литературы Особенности структуры композитных пленок Сu-С, полученных ионно-плазменным методом
- Андриевский Р.А. Синтез и свойства пленок фаз внедрения // Успехи химии. 1997. Г. 66. № 1. С. 57.
- Kuznetsov M.V., Borisov S.V., Shepatkovskii О.Р., VekslerYu.G., Kozhevnikov V.L. Investigation of TiC-C coatings by X-ray photoelectron spectroscopy // Journal of surface investigation. X-ray, synchrotron and neutron techniques. 2009. V. 3. P. 331-337. EDN: MWVVLH
- Баринов А.Д., Попов А.И., Чуканова, T.C., Емец В.М., Воронцов В.А. Модификация диэлектрических свойств алмазоподобных кремний-углеродных пленок путем введения титана // Материалы XII Международной научно-технической конференции "Микро- и нанотехнологии в электронике". 2021. С. 293-298.
- Balamurugan В., Mehta B.R., Shivaprasad S.M. "Nanoparticleroute" for the synthesis of a stable and stoichiometric Cu2C2 phase - a semiconductor material // Applied physics letters. 2003. V. 82. N 1. P. 115-117. EDN: YJPZFJ
- Khamdokhov Z.M., Kalazhokov Z.K., Naumkin A.V., Karamurzov B.S., Kalazhokov K.K., Tarala V.A., Krandievsky S.O. Features of the Phase Composition of Films Prepared by the Simultaneous Electric Arc Sputtering of Graphite and Chromium from Two Evaporators // Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2021. V. 15. P. 158-163. EDN: HBABHN
- Khamdokhov Z.M., Margushev Z.Ch., Kalazhokov Z.Kh., Kalazhokov Kh.Kh., Levin D.D. Investigation of the Chemical Composition of Films Deposited by the Electric-Arc Sputtering of Graphite and Titanium from Two Sources // Semiconductors. 2022. V. 56. N 13. P. 411-415. EDN: JRRVXU
- Khamdokhov Z.M., Margushev Z.C., Kalazhokov Z.K., Kushkhov K.B., Kalazhokov K.K., Teshev R.S. On the Phase Composition of Nanoscale Metal-Carbon Films Produced by the Two-Evaporator Method // Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2023. V. 17. N Suppl 1. P. S317-S321.
- Пул Ч., Оуене Ф. Нанотехнологии. 2-е, доп. изд. Москва: Техносфера, 2006. С. 119-120.
- Саресе F.M., Dicastro V., Furlani С., Mattogno G., Fragale C., Gargano M., Rossi M.J. Electron "Copper chromite" catalysts: XPS structure elucidation and correlation with catalytic activity // Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 1982. V. 27. N 2. P. 119-128. EDN: YJUSAQ
