Особенности технологии нанесения пиролитического алюминиевого покрытия с дополнительной оксидацией
Автор: Сатаев Евгений Есынович, Пугин Андрей Владимирович
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Физика и электроника
Статья в выпуске: 4-3 т.14, 2012 года.
Бесплатный доступ
Описан способ получения пиролитических алюминиевых пленок из алюмоорганических соединений (триизобутилалюминия и сек-бутаксид алюминия). Описаны технологические особенности нанесения пиролитического комбинированного алюминиевого покрытия на установке «Хром-1».Представлены исследования структуры поверхности и защитных свойств покрытия.
Пиролитическое алюминиевое покрытие, пиролитическое оксилоалюминиевое покрытие, комбинированное покрытие, алюмоорганическое соединение
Короткий адрес: https://sciup.org/148201281
IDR: 148201281
Список литературы Особенности технологии нанесения пиролитического алюминиевого покрытия с дополнительной оксидацией
- Алюмоорганические соединения. Перевод с немецкого под редакцией А.Ф. Жигача; М.: Иностранная литература, 1962.
- Лариков, Жигач А.Ф., Попов А.Ф. и др. Термическое разложение алюминийалкилов//Химическая промышленность. 1964. №3.
- Земсков Г.В., Артющенко И.И. Осаждение алюминия из газовой фазы//Защита металлов, 1970. №4.
- Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачёв Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972.
- Домрачёв Г.А., Жук Б.В., Хамылов В.К. и др. Исследование процесса осаждения плёнок алюминия из паровой фазы. ДАН СССР//Химия. 1976. Т. 226. №4.
- Поляков С.М., Барышников Ю.Ю. Механизм формирования твёрдой фазы при термическом разложении триизобутилалюминия//Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов. Тезисы докладов VI Всесоюзного совещания. Нижний Новгород, 1991. Часть I. С. 21.