Подготовка поверхности подложек для изготовления ДОЭ методом послойного наращивания фоторезиста
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технологии и эсперименты компьютерной оптики
Статья в выпуске: 21, 2001 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058459
IDR: 14058459
Статья
