Получение оптически прозрачных токопроводящих покрытий термическим испарением
Автор: Ярмонов Андрей Николаевич, Ларионов Дмитрий Денисович, Яхиханов Рустам Русланович
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Актуальные проблемы машиностроения
Статья в выпуске: 2-4 т.17, 2015 года.
Бесплатный доступ
В работе представлены результаты исследования по осаждению тонких токопроводящих пленок меди, олова и диоксида олова на подложки из кварцевого стекла методом термического испарения в вакууме на опытной установке для нанесения термовакуумных покрытий. Получены оптически прозрачные токопроводящие покрытия из меди, олова и диоксида олова на оптически прозрачных диэлектрических подложках из кварца. Проведены сравнительные исследования оптических свойств пленок меди, олова, оксида и диоксида олова на различных стадиях отжига покрытия. Пропускание полученных пленок диоксида олова в видимой области спектра превышает 90%.
Термическое испарение, вакуум, токопроводящее покрытие, олово, термическое разложение, порошок, прессование, спекание
Короткий адрес: https://sciup.org/148203691
IDR: 148203691
Список литературы Получение оптически прозрачных токопроводящих покрытий термическим испарением
- Batzill, M. The surface and materials science of tin oxide. Review/M. Batzill, U. Diebold//Progress in Surface Science. 2005. V. 79. P. 47-154.
- Granqvist, C.G. Transparent conductors as solar energy materials: A panoramic review//Solar Energy Materials & Solar Cells. 2007. V. 91. P. 1529-1598.
- Синев, И.В. Температурная зависимость тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова/Автореф. дисс. канд. ф.-м.н. -Саратов: СГУ им. Н.Г.Чернышевского, 2014. 18 с.
- Фетисова, Т.Н. Физико-химические закономерности химического осаждения гидратированных оксидов металлов с использованием органических соединений./Автореф. дисс. к.х.н. -Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2008. 26 с.
- Реми, Г. Курс неорганической химии. Том 1. Пер. с нем. -М.: ИИЛ, 1963. 922 с.
- Снежко, Н.Ю. Создание и исследование функциональных наноструктурных композиционных покрытий In2О3(SnO2) И ZrO2(Y2O3). Автореферат на соиск. уч. степ. к.т. н. -Красноярск: СФУ, 2014. 26 с.
- Рипан, Р. Неорганическая химия. Том 1. Химия металлов. Уч. пособие. Пер. с рум./Р. Рипан, И. Четяну. -М.: Мир, 1971. 560 с.
- Лидин, Р.А. Химические свойства неорганических веществ. Учеб. пособие для вузов. 3-е изд., испр./Р.А. Лидин, В.А. Молочко, Л.Л. Андреева. -М.: Химия, 2000, 480 с.
- Руководство по неорганическому синтезу./Под ред. Г. Брауэра. Пер. с нем. Т. 1-6. -М.: Мир. 1985-1986.
- Шарыгин, Л.М. Термостойкие неорганические сорбенты. -Екатеринбург: ИХТТ УрО РАН, 2012. 304 с.
- Ярмонов, А.Н. Создание и модернизация установки нанесения покрытий термическим испарением для научно-исследовательской и учебной деятельности.//Современные проблемы науки и образования. 2014. № 6. Электронный ресурс
- Костржицкий, А.И. Многокомпонентные вакуумные покрытия/А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский. -М.: Машиностроение, 1987. 208 с.
- Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме/А.И. Костржицкий, В.Ф. Карпов, М.П. Кабанченко и др. -М.: Машиностроение, 1991. 176 с.
- Зуев, Д.А. Импульсное лазерное осаждение тонких пленок ITO и их характеристики/Д. А. Зуев и др.//Физика и техника полупроводников. 2012. Т. 46, вып. 3. С. 425-429.
- Львов, Б.Г. Современные сверхвысоковакуумные уплотнения: Учеб. пособие для проф.-тех. учеб. заведений/Б.Г. Львов, А.С. Шувалов. -М.: Высш. школа, 1984. 71 с.
- Химическая энциклопедия. Т.3/И.Л. Кнунянц и др. -М.: Большая Российская энциклопедия, 1992. 639 с.
- Юраков, Ю.А. Образование окислов в нанослоях олова/Ю.А. Юраков и др.//Конденсированные среды и межфазные границы. 2007. Т. 9, №4. С. 415-421.
