Применение термохимического способа для получения алмазных заготовок с нанометровым рельефом поверхности

Автор: Алтухов Андрей Александрович, Митнкин Анатолий Валерианович, Теплова Татьяна Борисовна, Доронин Максим Алексеевич

Журнал: Горные науки и технологии @gornye-nauki-tekhnologii

Статья в выпуске: 7, 2013 года.

Бесплатный доступ

Применение алмаза в микроэлектронике ставит технологические задачи формирования поверхности алмазной заготовки нанометровой шероховатости. Для изготовления изделий научно-технического, научно- исследовательского и медицинского назначения необходимо использовать новые способы. Одним из таких способов является термохимический, который позволяет достигнуть шероховатости Ra до 5 нм. Способ термохимической обработки поверхности алмаза известен с 1975 года, но недостаточно широко распространен. Использование его для обработки изделий микроэлектроники не имеет аналогов. Исследование термохимического процесса обработки алмазных заготовок необходимы для выявления эффективных режимов обработки, чтобы повысить производительность процесса обработки и добиться высокого качества поверхности. 8 В статье раскрывается проблема достижения нанометрового рельефа поверхности алмаза при его применении в высокотехнологичных изделиях микроэлектроники и медицины. Приводится описание термохимического способа, конструкции термохимической установки, указывается область применения, достоинства и недостатки способа, экологичность технологии.

Еще

Микроэлектроника, термохимический способ обработки алмаза, экологичность, шероховатость поверхности нанометрового уровня

Короткий адрес: https://sciup.org/140215783

IDR: 140215783

Список литературы Применение термохимического способа для получения алмазных заготовок с нанометровым рельефом поверхности

Алтухов А.А., Горохов Е.В., Митягин А.Ю., Талипов Н.Х., Фещенко В.С Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона.//Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007. -№4. -С. 29-31.
Алтухов А.А., Львов С.А., Митѐнкин А.В., Митягин А.Ю., Могучев А.В. -Пат. 90375 РФ B 28 D. Устройство термохимической обработки алмаза.
Алтухов А.А., Любченко В.Е., Митягин А.Ю., Поморцев Л.А. Алмаз -перспективный материал для наноэлектроники.//Инженерная физика, 2003. -№5. -С. 51-58.
Епифанов В.И. Технология обработки алмазов в бриллианты: учеб. пособие/В.И.Епифанов, А.Я.Песина, Л.В.Зыков. -5-е изд., репринтное. -Якутск: Бичик, 2001. -336 с.
Солодова Ю.П., М.В, Николаев, К.К. Курбатов. Геммология алмаза: учебник. -М.: Агат, 2008. -416 с.
Шамаев П. П., А. С. Григорьева, В. В. Ботвин. О термохимических методах обработки алмазов с новых позиций. -Наука и техника в Якутии. -2002. -№ 1. -С. 27-29.
Интернет источник: http://www.uralalmazinvest.ru. Проверено: 20.01.2013

Статья научная