Применение тонких плёнок молибдена для контактных масок при изготовлении микрорельефов элементов дифракционной оптики
Автор: Волков Алексей Васильевич, Моисеев Олег Юрьевич, Полетаев Сергей Дмитриевич, Чистяков Игорь Владимирович
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 4 т.38, 2014 года.
Бесплатный доступ
Исследованы параметры микроструктур, полученных по технологии лазерной термохимической записи в плёнках молибдена с толщинами 17, 35 и 70 нм, нанесённых на стеклянные и кварцевые подложки. Построена зависимость пространственного разрешения микроструктур от мощности лазерного излучения для различных материалов оснований. Показано, что более высокого пространственного разрешения микроструктур можно добиться в плёнках молибдена толщиной 17 нм.
Микроструктуры, лазерная абляция, термохимическая запись, плёнки молибдена, стеклянная и кварцевая подложки
Короткий адрес: https://sciup.org/14059304
IDR: 14059304
