Расчет бинарных дифракционных решеток с клином травления
Автор: Досколович Л.Л., Тявин Е.В.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Методы и элементы компьютерной оптики
Статья в выпуске: 27, 2005 года.
Бесплатный доступ
Исследована работа бинарных дифракционных решеток при наличии клина травления. Рассчитаны интенсивности дифракционных порядков в зависимости от величины и вида клина травления. Проведена оптимизация дифракционного микрорельефа с учетом клина травления.
Короткий адрес: https://sciup.org/14058641
IDR: 14058641
Статья научная
