Расчет поправки на поглощение в рентгеноспектральном микроанализе
Автор: Михеев Николай Николаевич, Степович Михаил Адольфович, Тодуа Павел Андреевич, Филиппов Михаил Николаевич, Широкова Екатерина Васильевна
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Предложен способ расчета поправки на поглощение рентгеновского излучения с помощью новой функции распределения генерируемого электронным пучком характеристического рентгеновского излучения по глубине.
Рентгеноспектральный микроанализ, поправка на поглощения
Короткий адрес: https://sciup.org/142185899
IDR: 142185899
Список литературы Расчет поправки на поглощение в рентгеноспектральном микроанализе
- Scott V.D., Love G. Formulation of a universal electron probe microanalysis correction method//X-ray Spectrometry. -1992. -V. 21. -P. 27-35.
- Duncumb P. Correction procedures in electron probe microanalysis of bulk samples//Mikrochimica Acta. -1994. -V. 114. -P. 3-27.
- Pouchou J.-L., Pichoir F. Un nouveau modиle de calcul pour la microanalyse quantitative par spectromйtrie de rayons X//La Recherch Aerospatiale. -1984. -N 3. -P. 167-192. -N 5. -P. 349-367.
- Pouchou J.-L., Pichoir F. Basic expressions of «PAP» computation for quantitative EPMA//Proc. ICXOM 11. -1987. -P. 249-253.
- Gaber M. Absorption correction in electron probe microanalysis//X-Ray Spectrometry. -1992. -V. 21. -P. 215-221.
- Михеев Н.Н., Степович М.А., Широкова Е.В. Функция распределения по глубине рентгеновского характеристического излучения при локальном электронно-зондовом анализе//Изв. РАН. Сер. физ. -2010. -Т. 74. -№ 7. -С. 1043-1047.
- Михеев Н.Н., Степович М.А. Распределение энергетических потерь при взаимодействии электронного зонда с веществом//Заводская лаборатория. Диагностика материалов. -1996. -№ 4. -С. 20-25.
- Михеев Н.Н., Петров В.И., Степович М.А. Количественный анализ материалов полупроводниковой оптоэлектроники методами растровой электронной микроскопии//Изв. АН СССР. Сер. физ. -1991. -Т. 55. -№ 8. -С. 1474-1482.
- Fitting H.-J. Transmission, energy distribution and SE excitation of fast electrons in thin solid films//Phys. Stat. Sol. (a). -1974. -V. 26. -P. 525-535.
- Михеев Н.Н., Степович М.А., Петров В.И. Моделирование процессов обратного рассеяния электронов от мишени заданной толщины при нормальном падении первичного пучка//Изв. РАН. Сер. физ. -1995. -Т. 59, № 2. -С. 144-151.
- Vignes A., Dez G. Distribution in depth of the primary X-ray emission in anticathodes of titanium and lead//J. Phys. D: Appl. Phys. -1968. -V. 1. -P. 1309-1312.
- Castaing R., Descamps J. Sur les bases physiques de I'analyse ponctuelle par spectrographie X//J. Phys. Rad. -1955. -V. 16. -P.304-317.
Статья научная
