Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов
Автор: Подкопаев О.И., Кулаковская Т.В., Шиманский А.Ф., Погодаев А.М., Васильева М.Н.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 6 т.5, 2012 года.
Бесплатный доступ
Методом ИК-Фурье спектрометрии определено содержание кислорода в монокристаллах германия, выращенных по методу Чохральского. Проведен термодинамический анализ процесса растворения в Ge остаточного кислорода, содержащегося в газовой фазе.
Германий, монокристаллы, газовая фаза, концентрация кислорода, расплав, взаимодействие, термодинамический анализ
Короткий адрес: https://sciup.org/146114687
IDR: 146114687
Статья научная
