Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технологии компьютерной оптики
Статья в выпуске: 18, 1998 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058368
IDR: 14058368
Статья
