Разработка устройства для сушки фоторезиста
Автор: Горовенко Т.А., Еремин А.В.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 1 (7), 2016 года.
Бесплатный доступ
В данной статье рассмотрены основные этапы создания устройства сушки фоторезиста, а также настройки программируемого ПИД регулятора, используемый для управления нагревателем устройства сушки фоторезиста.
Пид, регулятор, фоторезист, настройка
Короткий адрес: https://sciup.org/140267262
IDR: 140267262
Список литературы Разработка устройства для сушки фоторезиста
- А. А. Евстрапов. Микрофлюидные чипы из стеклянных материалов / А. А. Евстрапов, Т. А. Лукашенко, Г. Е. Рудницкая, А. Л. Буляница, В. Е. Курочкин, В. С. Гусев, О. Г. Иванов, И. Ф. Беркутова, А. А. Савицкая // НАУЧНОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ. Том 22. - 2012. -№2. С. 27-43.
- http://frast.ru/fr_industrial.html#fp051ki
- http://www.owen.ru
- http://www.owen.ru/uploads/re_trm151-04_1752.pdf
Статья научная
