Рентгенофотоэлектронный спектрометр для химического анализа твердофазных материалов

Создан экспериментальный образец рентгенофотоэлектронного спектрометра, ориентированного на задачи определения и контроля химического состава разнообразных твердофазных материалов: металлов, сплавов, полупроводников и диэлектриков, полимеров, композиционных материалов. Прибор построен на базе электронного спектрометра ЭС2403, аналитических и высоковакуумных узлов, производимых отечественной промышленностью и обладающих (по опыту эксплуатации) большими рабочими ресурсами и надежностью. В состав спектрометра входят: - электронный энергоанализатор на основе электростатического полусферического конденсатора с многоэлектродной аксиально-симметричной системой предторможения на входе анализатора; - источник рентгеновского излучения, обеспечивающий интенсивное рентгеновское излучение линий MgКα и AlКα.; - стойка спектрометра аналитическая; - стойки электропитания; - система автоматизированного управления режимами анализатора и регистрации аналитической информации; - Windows-пакет программных средств автоматизированного управления режимами энергоанализатора и регистрации. Прибор характеризуется энергетическим разрешением на уровне (0.9-1.0) эВ, погрешностью определения химических сдвигов и энергии связи 0.1 эВ.