Создание наноразмерного медного покрытия в виде дифракционной линзы на поверхности кварца

Создание наноразмерного медного покрытия в виде дифракционной линзы на поверхности кварца

Автор: Нестеренко Дмитрий Владимирович, Полетаев Сергей Дмитриевич, Расщепкина Наталья Афанасьевна, Китаева Виктория Александровна

Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc

Рубрика: Физика и электроника

Статья в выпуске: 4-1 т.14, 2012 года.

Бесплатный доступ

В работе описывается создание дифракционной бинарной линзы на основе гальванически осаждённой меди для работы в рентгеновском диапазоне длин волн. Рельеф формировался из слоя резиста, нанесённого на исходную медную плёнку, с помощью электронной литографии. Эксперименты показали присутствие после проявления резиста тонкой, непроводящей ток плёнки на исходной медной поверхности. Это препятствует дальнейшему гальваническому осаждению сплошного слоя меди. Следовательно, дальнейшие исследования должны быть направлены на отработку режима литографии с целью проработки слоя резиста на полную толщину.

Электронно-лучевая литография, дифракционная бинарная линза, электролиз, плазменное травление, гальванопокрытие

Короткий адрес: https://sciup.org/148201144

IDR: 148201144

Список литературы Создание наноразмерного медного покрытия в виде дифракционной линзы на поверхности кварца

  • Аристов В.В., Ерко А.И. Рентгеновская оптика. М.: Наука, 1991.
  • Рентгеновская оптика и микроскопия/[под ред. Г. Шмаля и Д. Рудольфа]. М.: Мир, 1987.
  • Джеймс Р. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. М.: ИИЛ, 1950.
  • Soifer V.A. Zone fringes and phase functions of optical elements//In the book "Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements", edited by Victor A. Soifer. A Wiley Interscience Publication, John Wiley & Sons, Inc., 2002. P. 7-16.
  • Многоградационная линза Френеля/М.А. Голуб, Н.Л. Казанский, И.Н. Сисакян, В.А. Сойфер, Г.В. Успленьев, Д.М. Якуненкова//Журнал технической физики. 1991. Т. 61, № 4. С. 195-197.
  • Исследование фокусирующих свойств зонной пластинки для жёсткого рентгеновского излучения/В.В. Котляр, А.Г. Налимов, М.И. Шанина, В.А. Сойфер, Л. О'Фаолайн, Е.В. Минеев, И.В. Якимчук, В.Е. Асадчиков//Компьютерная оптика. 2012. Т. 36, № 1. С. 65-71.
  • Налимов А.Г., Котляр В.В., Сойфер В.А. Моделирование формирования изображения зонной пластинкой в рентгеновском излучении//Компьютерная оптика. 2011. Т. 35, № 3. С. 290-296.
  • Котляр В.В. Зонная пластинка на мембране для жёсткого рентгеновского излучения/В.В. Котляр, А.Г. Налимов, М.И. Шанина, В.А. Сойфер, Л. О'Фаолайн//Компьютерная оптика. 2011. Т. 35, № 1. С. 36-41.
  • Волков А.В. Метод формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного наращивания фоторезиста/А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев, В.А. Сойфер//Компьютерная оптика. 1996. № 16. С. 12-14.
  • Volkov A.V. A method for the diffractive microrelief forming using the layered photoresist growth/A.V. Volkov, N.L. Kazanskiy, O.Yu. Moiseev, V.A. Soifer//Optics and Lasers in Engineering. 1998. Vol. 29, N 4-5. P. 281-288.
  • Волков А.В. Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов/А.В. Волков, Н.Л. Казанский, В.А. Сойфер, В.С. Соловьёв//Компьютерная оптика. 1997. № 17. С. 91-93.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов//Компьютерная оптика. 1998. № 18. С. 130-133.
  • Pavelyev V.S. Formation of diffractive microrelief on diamond film surface/V.S. Pavelyev, S.A. Borodin, N.L. Kazanskiy, G.F. Kostyuk, A.V. Volkov//Optics & Laser Technology. 2007. Vol. 39, N 6. P. 1234-1238.
  • Абульханов С.Р. Методы изготовления элементов дифракционной оптики резанием на станках с ЧПУ/С.Р. Абульханов, Н.Л. Казанский, Л.Л. Досколович, О.Ю. Казакова//СТИН Станки Инструмент. 2011. № 9. С. 20-27.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине//Компьютерная оптика. 1998. № 18. С. 133-138.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю. Формирование микрорельефа с использованием халькогенидных стеклообразных полупроводников//Компьютерная оптика. 2002. № 24. С. 74-77.
  • Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа//Микроэлектроника. 2004. Т. 33, № 3. С. 209-224.
  • Bezus E.A., Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L. Evanescent-wave interferometric nano-scale photolithography using guided-mode resonant gratings//Microelectronic Engineering. 2011. Vol. 88, N 2. P. 170-174.
  • Безус Е.А., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л. Формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн для наноразмерной литографии с помощью волноводных дифракционных решёток//Квантовая электроника. 2011. Т. 41, № 8. С. 759-764.
  • Нестеренко Д.В. Создание криволинейных дифракционных решёток для ультрафиолетового диапазона/Д.В. Нестеренко, С.Д. Полетаев, О.Ю. Моисеев, Д.М. Якуненкова, А.В. Волков, Р.В. Скиданов//Известия Самарского научного центра РАН. 2011. Т. 13, № 4. С. 66-71.
  • Ильин В.И. Краткий справочник гальванотехника. СПб.: Политехника. 1993.
  • Golub M.A., Sisakian I.N., Soifer V.A. Infra-red radiation focusators//Optics and Lasers in Engineering. 1991. Vol. 15, N 5. P. 297-309.
  • Doskolovich L.L. Focusators for laser-branding/L.L. Doskolovich, N.L. Kazanskiy, S.I. Kharitonov, G.V. Usplenjev//Optics and Lasers in Engineering. 1991. Vol. 15, N 5. P. 311-322.
  • Казанский Н.Л. Применение фокусаторов излучения при формировании нанопористых структур твёрдокристаллических материалов/Н.Л. Казанский, С.П. Мурзин, В.И. Трегуб, А.В. Меженин//Компьютерная оптика. 2007. Т. 31, № 2. С. 48-51.
  • Казанский Н.Л. Формирование лазерного излучения для создания наноразмерных пористых структур материалов/Н.Л. Казанский, С.П. Мурзин, А.В. Меженин, Е.Л. Осетров//Компьютерная оптика. 2008. Т. 32, № 3. С. 246-248.
  • Kazanskiy N.L. Synthesis of nanoporous structures in metallic materials under laser action/N.L. Kazanskiy, S.P. Murzin, Ye.L. Osetrov, V.I. Tregub//Optics and Lasers in Engineering. 2011. Vol. 49, N 11. P. 1264-1267.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю. Исследование процессов нанесения и травления фоторезиста с целью повышения точности формирования микрорельефа широкоапертурных ДОЭ//Компьютерная оптика. 1999. № 19. С. 143-146.
  • Казанский Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики//Компьютерная оптика. 2006. № 29. С. 58-77.
  • Казанский Н.Л. Исследовательско-технологический центр дифракционной оптики//Известия Самарского научного центра РАН. 2011. Т. 13, ¹ 4. С. 54-62.
  • Kazanskiy N.L. Research and education center of diffractive optics//Proceedings of SPIE. 2012. Vol. 8410. 84100R. DOI: 10.1117/12.923233.
Еще
Статья научная
QR-код для установки приложения SciUp Наведите камеру и скачайте бесплатное приложение SciUp