Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Автор: Ташмухамедова Д., Абдиев Х., Камолов А.
Журнал: Экономика и социум @ekonomika-socium
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 8 (99), 2022 года.
Бесплатный доступ
В основу данной программы положены следующие вузовские дисциплины: "Кристаллография","Методы исследования состава и структуры материалов электроннойтехники", "Физикаи химия полупроводников",“Квантовая иоптическая электроника,"Технология материалов электронной техники", "Физико-химические основы технологии микроэлектроники", “Процессы микро- и нанотехнологии”. "Физические основы электронной техники", "Основы технологии производства изделий электронной техники", "Оборудование электронной промышленности", "Расчет и конструирование оборудования электронной промышленности", "Моделирование процессов и оборудования электронной промышленности".
Методы, физика, технология, химия, электронная эмиссия, нанотехнологии, полупроводник
Короткий адрес: https://sciup.org/140299198
IDR: 140299198
Список литературы Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
- Глазов B.М., Павлова Л.М., Химическая термодинамика и фазовые равновесия, М., Химия, 1981 г.
- Ташмухамедова Д. А., Умирзаков Б. Е., Балтаев Э. У. Формирование наноразмерных силицидных фаз в эпитаксиальных пленках кремния и изучение их физико-химических свойств //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2003. - №. 8. - С. 101-104.
- Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д. А., Умирзаков Б. Е. Состав и электронные свойства наноразмерных фаз и нанопленок силицидов металлов, созданных методом ионной имплантации в сочетании с отжигом //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2014. - №. 4. - С. 24-24.
- Раскин А.А., Картушина А.А., Баровский Н.В. Технология материалов электронной техники, М., МИЭТ, 1999.
- Афанасьев В.П., Ганенков Н.А., Пщелко Н.С. Материалы и компоненты функциональной электроники, СПбГЭТУ (ЛЭТИ), Санкт- Петербург, 1999.
- Абдиев Х., Умаров Б., Тоштемиров Д. Структура и принципы солнечных коллекторов //Наука и современное общество: актуальные вопросы, достижения и инновации. - 2021. - С. 9-13.
