Тонкопленочная медь как маскирующий слой в процессе плазмохимического травления кварца
Автор: Волков А.В., Володкин Б.О., Дмитриев С.В., Ерополов В.А., Моисеев О.Ю., Павельев В.С.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 4 т.31, 2007 года.
Бесплатный доступ
В работе рассматривается методика формирования микрорельефов дифракционных оптических элементов плазмохимическим травлением с применением в качестве материала маскирующего слоя меди.
Короткий адрес: https://sciup.org/14058778
IDR: 14058778
Статья научная
