Влияние окисной пленки на коэффициенты распыления кремния
Автор: Раббимов Э.А., Жраева Н.М., Ахмаджонова У.Т.
Журнал: Экономика и социум @ekonomika-socium
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 6-2 (73), 2020 года.
Бесплатный доступ
Основной целью данной работы являлось изучение влияния внедренных атомов Ba на коэффициент распыления поверхности кремния и изучение влияния ионной бомбардировки на разрушение тонкой окисной пленки формирующийся на поверхности Si.
Вакуум, оже-электронной спектроскопии, высокотемпературным прогревом, монте-карловская модель
Короткий адрес: https://sciup.org/140252612
IDR: 140252612
Список литературы Влияние окисной пленки на коэффициенты распыления кремния
- Pugacheva T.S., Jurabekova F.G., Lem S.A., Miyagawa Y., Valiev S.Kh. // Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. B. 1997. V. 127 - 129. P. 260.
- Рузибаева М.К., Умирзаков Б.Е. Исследование профиля распределения имплантируемой примеси при высоких дозах облучения. XXII Международная конференция взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2015». Москва, Россия. 20 - 24 августа 2015 г. с. 183 - 185.
Статья научная
