Влияние содержания оптически активного кислорода на дефектную структуру монокристаллического германия
Автор: Подкопаев Олег Иванович, Шиманский Александр Федорович, Бычков Петр Степанович, Вахрин Виктор Владимирович
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 1 (41), 2012 года.
Бесплатный доступ
Методом ИК-Фурье-спектроскопии определено содержание оптически активного кислорода в монокристаллах полупроводникового германия различных марок. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода и плотности дислокаций.
Германий, монокристаллы, плотность дислокаций, ик-фурье-спектроскопия, содержание кислорода
Короткий адрес: https://sciup.org/148176739
IDR: 148176739
Статья научная
