The effect of ultrasound on electronic devices pumping
Автор: Sheshin E.P., Neuimin G.G., Li I.P., Shumanov A.V., Khanbekov I.F.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 2 (66) т.17, 2025 года.
Бесплатный доступ
A review of sources on the topic of increasing the efficiency of electronic devices pumping by exposing their internal space to ultrasonic waves has been compiled.
Vacuum electronics, pumping, electronic devices, ultrasound, desorption, diffusion
Короткий адрес: https://sciup.org/142245021
IDR: 142245021
Статья научная
