Влияние ультразвука на откачку электронных приборов
Автор: Шешин Е.П., Неуймин Г.Г., Ли И.П., Шуманов А.В., Ханбеков И.Ф.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 2 (66) т.17, 2025 года.
Бесплатный доступ
Составлен обзор источников по теме увеличения эффективности откачки электронных приборов путём воздействия ультразвуковыми волнами на их внутреннее пространство.
Вакуумная электроника, откачка, электронные приборы, ультразвук, десорбция, диффузия
Короткий адрес: https://sciup.org/142245021
IDR: 142245021
Статья научная
