Возможности технологии микроэлектроники для создания элементов компьютерной оптики
Автор: Аристов В.В., Бабин С.В., Ерко А.И.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технология создания элементов компьютерной оптики
Статья в выпуске: 4, 1989 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены возможности применения микроэлектронной технологии для формирования элементов дифракционной оптики высокого разрешения. Описываются различные литографические методы создания топологии. Основное внимание уделено методу электронно-лучевой литографии и особенностям его применения при решении задач компьютерной оптики. Операции микроструктурирования рассмотрены на примерах изготовления дифракционных элементов для мягкого рентгеновского диапазона.
Короткий адрес: https://sciup.org/14058164
IDR: 14058164
Статья научная
