Выбор параметров микрорельефа алмазного ДОЭ на основе численного анализа локальных технологических погрешностей

Работа посвящена анализу систематических технологических погрешностей, возникающих при изготовлении алмазных ДОЭ с помощью прямой лазерной абляции. Целью предлагаемой статьи является численный анализ (в рамках электромагнитной теории дифракционных решеток) влияния погрешностей формируемого рельефа на стыках элементарных областей структурирования. В работе делаются заключения о характере влияния технологических погрешностей на работу ДОЭ и сформированы рекомендации по минимизации потерь энергии, связанных с наличием погрешностей.