Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия
Автор: Подкопаев О.И., Кулаковская Т.В., Шиманский А.Ф., Погодаев А.М., Васильева М.Н.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 6 т.6, 2013 года.
Бесплатный доступ
Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислорода в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия.
Германий, монокристаллы, концентрация кислорода, расплав, газовая фаза, взаимодействие, термодинамический анализ
Короткий адрес: https://sciup.org/146114779
IDR: 146114779
