Закономерности синтеза тонких пленок металлооксидов, полученных с использованием ионных пучков
Автор: Халтанова В.М.
Журнал: Вестник Бурятского государственного университета. Философия @vestnik-bsu
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 3, 2009 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены закономерности синтеза тонких пленок металлооксидов на примере выращивания тонких пленок молибдата свинца PbMoO4, полученных методом распыления ионными пучками. Обсуждается методика формирования покрытий, приводится анализ ростовых процессов. Теоретические данные сопоставляются с экспериментальными.
Ионное лучевое распыление, тонкая пленка
Короткий адрес: https://sciup.org/148178764
IDR: 148178764
Статья научная
