Ахроматизированные дифракционно-рефракционные объективы EUV-диапазона
Автор: Грейсух Григорий Исаевич, Ежов Евгений Григорьевич, Левин Илья Анатольевич, Степанов Сергей Алексеевич
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 1 т.35, 2011 года.
Бесплатный доступ
Приведена дисперсионная модель оптического материала, позволяющая использовать хорошо зарекомендовавшие себя программные продукты расчёта оптических систем в EUV-диапазоне. Рассчитаны и исследованы фотолитографические дифракционно-рефракционные объективы, ахроматизация которых достигается с помощью дифракционно-рефракционного корректора, включающего рефракционную линзу Френеля. Показано, что такие объективы по совокупности основных характеристик являются конкурентоспособными по отношению к зеркальным объективам, которые ещё совсем недавно в EUV-диапазоне считались безальтернативными.
Экстремальное ультрафиолетовое излучение, дифракционная линза, рефракционная линза френеля, дисперсия, ахроматизация, вторичный спектр, дифракционно-рефракционный объектив, конфокальность, телецентричность, нанолитография
Короткий адрес: https://sciup.org/14058986
IDR: 14058986
