Анализ перспективных материалов для микро- и наноэлектроники и технологии их получения

Алгрфи М.А.Д.

Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j

Рубрика: Основной раздел

Статья в выпуске: 7 (37), 2018 года.

Бесплатный доступ

Главной целью исследования является изучение и анализ перспективных технологий получения материалов для микро- и наноэлектрноники. Главными задачами были сбор информации и изучение актуальных данных на тему перспективных технологий получения материалов для микро- и наноэлектрноники.

молекулярно-лучевая эпитаксия \ импульсное лазерное осаждение \ распылительное осаждение \ химическое осаждение из газовой фазы \ электроспиннинг \ золь-гель метод

Похожие статьи в разделе Электротехника

Разработка установки для получения порошков из токопроводящих материалов
Разработка установки для получения порошков из токопроводящих материалов

Агеев Е.В., Семенихин Б.А., Латыпов Р.А., Бобрышев Р.В.

Современный этап развития технологий в России
Современный этап развития технологий в России

Павлова А.С., Анастасова А.С., Сарафанов А.Д., Никушина А.Н.

Короткий адрес: https://sciup.org/140273692

IDS: 140273692

Analysis of perspective materials for micro- and nanoelectronics and production technology

The main purpose of the study is to study and analyze promising technologies for the production of materials for micro - and nanoelectronics. The main tasks were to collect information and study relevant data on promising technologies for producing materials for micro - and nanoelectronics.

Список литературы Анализ перспективных материалов для микро- и наноэлектроники и технологии их получения

  • Нанотехнологии в металлургии. Рудской А.И. // СПб.: Наука, 2007. - 186 с.
  • Кластеры и наноструктуры. К.С. Напольский, А.В. Лукашин, А.А.Елисеев. // МГУ, Москва, 2007. - 60 c.
  • Наноматериалы и нанотехнологии. Анищик В.М., Борисенко В.Е., Жданок С.А., Толочко Н.К., Федосюк В.М. // Минск.: Изд. центр БГУ, 2008. - 375 с.