Анализ перспективных материалов для микро- и наноэлектроники и технологии их получения
Автор: Алгрфи М.А.Д.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 7 (37), 2018 года.
Бесплатный доступ
Главной целью исследования является изучение и анализ перспективных технологий получения материалов для микро- и наноэлектрноники. Главными задачами были сбор информации и изучение актуальных данных на тему перспективных технологий получения материалов для микро- и наноэлектрноники.
Молекулярно-лучевая эпитаксия, импульсное лазерное осаждение, распылительное осаждение, химическое осаждение из газовой фазы, электроспиннинг, золь-гель метод
Короткий адрес: https://sciup.org/140273692
IDR: 140273692
Список литературы Анализ перспективных материалов для микро- и наноэлектроники и технологии их получения
- Нанотехнологии в металлургии. Рудской А.И. // СПб.: Наука, 2007. - 186 с.
- Кластеры и наноструктуры. К.С. Напольский, А.В. Лукашин, А.А.Елисеев. // МГУ, Москва, 2007. - 60 c.
- Наноматериалы и нанотехнологии. Анищик В.М., Борисенко В.Е., Жданок С.А., Толочко Н.К., Федосюк В.М. // Минск.: Изд. центр БГУ, 2008. - 375 с.
Статья научная
