Численное моделирование влияния магнитного поля на процесс выращивания кристаллов вертикальным методом Бриджмена
Автор: Любимова Татьяна Петровна, Файзрахманова Ирина Сергеевна
Журнал: Вычислительная механика сплошных сред @journal-icmm
Статья в выпуске: 3 т.1, 2008 года.
Бесплатный доступ
В работе исследовано влияние однородного высокочастотного осевого магнитного поля на процесс выращивания полупроводникового монокристалла. Описан алгоритм моделирования нестационарного процесса выращивания кристалла вертикальным методом Бриджмена в условиях земной гравитации. В качестве примера рассмотрен полупроводниковый материал германий, легированный галлием, выращиваемый в графитной ампуле конечной толщины, имеющей плоское дно. Распределение температуры вблизи внешней стенки ампулы задавалось тангенциальной функцией. Моделировалось влияние осевого высокочастотного магнитного поля на течение и тепло-, массоперенос в расплаве, а также на распределение примеси в выращенном кристалле. Расчеты показали, что осевое высокочастотное магнитное поле подавляет конвективные течения, прогиб фронта увеличивается с увеличением интенсивности магнитного поля, а перемешивание расплава ослабевает.
Короткий адрес: https://sciup.org/14320440
IDR: 14320440
Список литературы Численное моделирование влияния магнитного поля на процесс выращивания кристаллов вертикальным методом Бриджмена
- Ежовский Ю.К., Денисова О.В. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов:/Учеб. Пособие. -СПб.: СЗТУ, 2005. -80с.
- Тарунин Е.Л. Вычислительный эксперимент в задачах свободной конвекции. -Иркутск: Изд-во Иркут. ун-та, 1990. -228с.
- Adornato P., Brown R. Convection and Segregation in Directional Solidification of Dilute and Non-Dilute Binary Alloys: Effects of Ampoule and Furnace Design//J. Crystal Growth. -1987. -V. 80. -P. 155-190.
- Lan C.W., Ting C.C. Numerical Investigation on the Batch Characteristics of Liquid Encapsulated Vertical Bridgman Crystal Growth//J. Crystal Growth. -1995. -V. 149, 1995. -P.175-186.
- Stelian C., Delannoy Y., Fautrelle Y., Duffar T. Solute Segregation in Directional Solidification of GalnSb Concentrated Alloys under Alternating Magnetic Field//J. Crystal Growth. -2004. -V. 266. -P. 207-215.
- Kim, D.H., Adornato, P.M., Brown, R.A. Effect of Vertical Magnetic Field on Convection and Segregation in Vertical Bridgman Crystal Growth//J. Crystal Growth. -1988. -V. 89. -P. 339-356.
