Численное моделирование влияния вращающегося магнитного поля на процесс выращивания полупроводникового кристалла методом AHP
Автор: Любимова Татьяна Петровна, Хлыбов Олег Анатольевич
Журнал: Вычислительная механика сплошных сред @journal-icmm
Статья в выпуске: 2 т.6, 2013 года.
Бесплатный доступ
Проведено численное моделирование влияния аксиально симметричного вращающегося магнитного поля на процесс тепло- и массопереноса при выращивании полупроводникового кристалла Ga:Ge с использованием AHP – Axial Heating Process. Получены данные о структуре течения, распределении примеси в расплаве и ее сегрегации в кристалле в зависимости от температурных граничных условий и интенсивности приложенного магнитного поля. Показано, что температурные условия на погруженном нагревателе оказывают существенное влияние на массоперенос в расплаве и, как следствие, на сегрегацию примеси в выращенном кристалле. Продемонстрировано, что приложение вращающегося магнитного поля малой интенсивности способно уменьшить радиальную сегрегацию примеси в кристалле.
Численное моделирование, направленная кристаллизация, массоперенос, вращающееся магнитное поле
Короткий адрес: https://sciup.org/14320667
IDR: 14320667
Список литературы Численное моделирование влияния вращающегося магнитного поля на процесс выращивания полупроводникового кристалла методом AHP
- Lan C.W. Recent progress of crystal growth modeling and growth control//Chem. Eng. Sci. -2004. -V. 59, N. 7. -P. 1437-1457.
- Ostrogorsky A.G. Single-crystal growth by the submerged heater method//Meas. Sci. Technol. -1990. -V. 1, N. 5. -P. 463-464.
- Любимова Т.П., Паршакова Я.Н. Влияние вращательных вибраций на течения и тепломассообмен при выращивании кристаллов германия вертикальным методом Бриджмена//Вычисл. мех. сплош. сред. -2008. -Т. 1, № 1. -С. 57-67.
- Lyubimova T.P., Croell A., Dold P., Khlybov O.A., Fayzrakhmanova I.S. Time-dependent magnetic field influence on GaAs crystal growth by vertical Brigdman method//J. Crys. Growth. -2004. -V. 266, N. 1-3. -P. 404-410.
- Любимова Т.П., Файзрахманова И.С. Численное моделирование влияния магнитного поля на процесс выращивания кристаллов вертикальным методом Бриджмена//Вычисл. мех. сплош. сред. -2008. -Т. 1, № 3. -С. 85-95.
- Dold P., Benz K.W. Rotating magnetic fields: Fluid flow and crystal growth applications//Prog. Cryst. Growth Ch. -1999. -V. 38, N. 1-4. -P. 39-58.
- Marty Ph., Witkowski L.M., Trombetta P., Tomasino T., Garandet J.P. On the stability of rotating MHD flows//Fluid Mechanics and Its Applications. -1999. -V. 51. -P. 327-343.
- Bourago N.G., Fedyushkin A.I. Impurity distribution in submerged heating method with and without rotation//Proc. of Int. Conf. on Computational Heat and Mass Transfer. N. Cyprus, Turkey, 1999. -P. 207-215.
- Lan C.W., Ting C.C. Numerical investigation on the batch characteristics of liquid encapsulated vertical Bridgman crystal growth//J. Cryst. Growth. -1995. -V 149, N. 3-4. -P. 175-186.
- Хлыбов О.А. Комбинирование символьной алгебры и генерации кода для решения сложных систем нелинейных дифференциальных уравнений//Вычисл. мех. сплош. сред. -2008. -Т. 1, № 2. -С. 90-99.
- Lan C.W. Newton's method for solving heat transfer, fluid flow and interface shapes in a floating molten zone//Int. J. Numer. Meth. Fl. -1994. -V. 19, N. 1. -P. 41-65.
- Adornato P.M., Brown R.A. Convection and segregation in directional solidification of dilute and non-dilute binary alloys: Effects of ampoule and furnace design//J. Cryst. Growth. -1987. -V. 80, N. 1. -P. 155-190.
