Датчик расхода жидкости на основе термоанемометрического микросенсора потока
Автор: Сажин Олег Владимирович, Первушин Ю.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы и устройства
Статья в выпуске: 2 т.23, 2013 года.
Бесплатный доступ
Разработана аналитическая модель термоанемометрического сенсора потока. Создан термоанемометрический микросенсор на основе легированного поликристаллического кремния. Изготовлен опытный образец датчика расхода жидкости. Представлены результаты испытаний датчика.
Сенсор потока теплового типа, тепломассоперенос, датчик расхода жидкости
Короткий адрес: https://sciup.org/14264851
IDR: 14264851
Статья научная
