Интеграция автоматического дозатора в конструкцию прибора оценки шероховатости и чистоты поверхности оптических подложек

Интеграция автоматического дозатора в конструкцию прибора оценки шероховатости и чистоты поверхности оптических подложек

Автор: Изотов Павел Юрьевич

Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc

Рубрика: Физика и электроника

Статья в выпуске: 4-1 т.15, 2013 года.

Бесплатный доступ

Рассматривается задача улучшения характеристик прибора для экспресс-контроля шероховатости и чистоты поверхности оптических подложек. Для повышения точности и стабильности работы предлагается оснастить прибор автоматизированным дозатором жидкости. Приводится список требований, предъявляемых к дозатору, а также решение проблем, возникающих при реализации взаимодействия программного обеспечения прибора и дозатора.

Автоматический дозатор, дозирование жидкости, экспресс-контроль чистоты и гладкости поверхности, шероховатость, оптическая подложка, программное обеспечение, управляемый код, неуправляемый код, динамически подключаемая библиотека, высокоскоростная видеосъёмка, видеокамера

Еще

Короткий адрес: https://sciup.org/148202228

IDR: 148202228

Список литературы Интеграция автоматического дозатора в конструкцию прибора оценки шероховатости и чистоты поверхности оптических подложек

  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Сойфер В.А., Соловьев В.С. Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов//Компьютерная оптика. 1997. № 17. С. 91-93.
  • Volkov A.V., Kazanskiy N.L., Moiseev O.Yu., Soifer V.A. A Method for the Diffractive Microrelief Forming Using the Layered Photoresist Growth//Optics and Lasers in Engineering. 1998. Vol. 29, № 4-5. P. 281-288.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине//Компьютерная оптика. 1998. № 18. С. 130-133.
  • Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа//Микроэлектроника. 2004. Том 33, №3. С. 209-224.
  • Pavelyev V.S., Borodin S.A., Kazanskiy N.L., Kostyuk G.F., Volkov A.V. Formation of diffractive microrelief on diamond film surface//Optics & Laser Technology. 2007. Vol. 39, № 6. P. 1234-1238.
  • Абульханов С.Р., Казанский Н.Л., Досколович Л.Л., Казакова О.Ю. Методы изготовления элементов дифракционной оптики резанием на станках с ЧПУ//СТИН. 2011. № 9. С.22-27.
  • Bezus E.A., Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L. Evanescent-wave interferometric nanoscale photolithography using guided-mode resonant gratings//Microelectronic Engineering. 2011. Vol. 88, № 2. P. 170-174.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов//Компьютерная оптика. 1998. № 18. С. 127-130.
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю. Подготовка поверхности подложек для изготовления ДОЭ методом послойного наращивания фоторезиста//Компьютерная оптика. 2001. № 21. С. 113-116. -ISSN 0134-2452.
  • Казанский Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики//Компьютерная оптика. 2006. № 29. С. 58-77.
  • Казанский Н.Л. Исследовательско-технологический центр дифракционной оптики//Известия Самарского научного центра РАН. 2011. Том 13, № 4. С. 54-62.
  • Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В., Каплин А.Ю. Анализ методов измерения шероховатости поверхности и экспериментальное исследование диффузного рассеяния на базе рефлектометрического метода//Молодежный научно-технический вестник. 2012. № 6. -ISSN 2307-0609.
  • Solver PRO-M [Электронный ресурс]//NTI -NanoTechnology Instruments [сайт]. [2005]. URL: http://www.nanotech-instruments.com/data/media/files/products/solver/pro-m/solver_pro-m.pdf (дата обращения 12.04.2013).
  • Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность//Компьютерная оптика. 2005. № 28. С. 69-75.
  • Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность//Оптический журнал. 2009. Том 76, № 7. С. 42-47.
  • Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек//Компьютерная оптика. -2005. -№ 28. -С. 76-79.
  • Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Исследование особенностей трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при экспресс-контроле степени чистоты их поверхности//Компьютерная оптика. 2007. Том 31, № 1. С. 42-46. -ISSN 0134-2452.
  • Изотов П.Ю., Глянько М.С., Волков А.В., Казанский Н.Л., Суханов С.В. Устройство для контроля шероховатости поверхности диэлектрических подложек//Патент РФ на изобретение № 2448341 от 20.04.2012. Бюл. № 11.
  • Изотов П.Ю., Глянько М.С., Суханов С.В. Модификация прибора индикации чистоты и гладкости оптических подложек//Компьютерная оптика. 2011. Том 35, № 1. С. 63-69. -ISSN 0134-2452.
  • Голуб М.А., Казанский Н.Л., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. Формирование эталонных волновых фронтов элементами компьютерной оптики//Компьютерная оптика. 1990. № 7. С. 3-26.
  • Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Харитонов С.И. Проектирование светотехнических устройств с ДОЭ//Компьютерная оптика. 1998. № 18. С. 91-96.
  • Досколович Л.Л., Казанский Н.Л. Расчет зеркала для формирования диаграммы направленности излучения//Автометрия. 2004. Том 40, № 5. С. 104-111.
  • Moiseev M.A., Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L. Design of high-efficient freeform LED lens for illumination of elongated rectangular regions//Optics Express. 2011. Vol. 19, № S3. P. A225-A233.
  • Досколович Л.Л., Казанский Н.Л. Расчет зеркала для формирования однопараметрической диаграммы направленности излучения//Автометрия. 2004. Том 40, № 5. С. 104-111.
  • Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Soifer V.A., Kharitonov S.I., Perlo P. A DOE to form a line-shaped directivity diagram//Journal of Modern Optics. 2004. Vol. 51, № 13. P. 1999-2005.
  • Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Perlo P., Bernard S. Designing reflectors to generate a line-shaped directivity diagram//Journal of Modern Optics. 2005. Vol. 52, № 11. P. 1529-1536.
  • Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Тренина М.А. Расчет зеркала для формирования диаграммы направленности в виде отрезка//Автометрия. 2006. Том 42, № 4. С. 67-75.
  • Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Bernard S. Designing a mirror to form a line-shaped directivity diagram//Journal of Modern Optics. 2007. Vol. 54, № 3-4. P. 589-597.
  • Глянько М.С., Изотов П.Ю. Программное обеспечение для устройства контроля чистоты и шероховатости оптических подложек//Компьютерная оптика. 2012. Том 36, № 2. С. 42-248. -ISSN 0134-2452.
  • Волотовский С.Г., Казанский Н.Л., Попов С.Б., Хмелёв Р.В. Система технического зрения для распознавания номеров железнодорожных цистерн с использованием модифицированного коррелятора в метрике Хаусдорфа//Компьютерная оптика. 2005. № 27. С. 177-184.
  • Volotovskii S.G., Kazanskii N.L., Popov S.B., Khmelev R.V. Machine Vision System for Registration of Oil Tank Wagons//Pattern Recognition and Image Analysis. 2005. Vol. 15, № 2. P. 461-463.
  • Казанский Н.Л., Попов С.Б. Система технического зрения для определения количества гель-частиц в растворе полимера//Компьютерная оптика. 2009. Том 33, № 3. С. 325-331.
  • Kazanskiy N.L., Popov S.B. Machine Vision System for Singularity Detection in Monitoring the Long Process//Optical Memory and Neural Networks (Information Optics). 2010. Vol. 19, № 1. P. 23-30.
  • Казанский Н.Л., Попов С.Б. Распределённая система технического зрения регистрации железнодорожных составов//Компьютерная оптика. 2012. Том 36, № 3. С. 419-428.
  • Microlab 600 Standalone Pump [Электронный ресурс]//Hamilton Company | Hamilton Microlab 600 | Ordering Information [сайт]. [2013]. URL: http://www.hamiltoncompany.com/products/microlab-600/c/1170/(дата обращения 12.04.2013).
  • Unmanaged Exports [Электронный ресурс]//Home -Robert Giesecke [сайт]. [2009]. URL: https://sites.google.com/site/robertgiesecke/Home/uploads/unmanagedexports (дата обращения 12.04.2013).
  • Казанский Н.Л., Мурзин С.П., Трегуб В.И., Меженин А.В. Применение фокусаторов излучения при формировании нанопористых структур твердокристаллических материалов//Компьютерная оптика. 2007. Том 31, № 2. С. 48-51.
  • Казанский Н.Л., Мурзин С.П., Меженин А.В., Осетров Е.Л. Формирование лазерного излучения для создания наноразмерных пористых структур материалов//Компьютерная оптика. 2008. Том 32, № 3. С. 246-248.
  • Казанский Н.Л., Мурзин С.П., Трегуб В.И. Оптическая система для проведения селективной лазерной сублимации компонентов металлических сплавов//Компьютерная оптика. 2010. Том 34, № 4. С. 481-486.
  • Kazanskiy N.L., Murzin S.P., Osetrov Ye.L., Tregub V.I. Synthesis of nanoporous structures in metallic materials under laser action//Optics and Lasers in Engineering. 2011. Vol. 49, № 11. P. 1264-1267.
  • Казанский Н.Л. Процедура корректировки фазовой функции фокусатора по результатам вычислительного эксперимента//Компьютерная оптика. 1987. № 1. С. 90-96.
  • Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Usplenjev G.V. Focusators for laser-branding//Optics and Lasers in Engineering. 1991. Vol. 15, № 5. P. 311-322.
  • Kazanskiy N.L., Kotlyar V.V., Soifer V.A. Computer-aided design of diffractive optical elements//Optical Engineering. 1994. Vol. 33, № 10. P. 3156-3166.
  • Kazanskiy N.L., Soifer V.A. Diffraction investigation of geometric-optical focusators into segment//Optik -International Journal for Light and Electron Optics. 1994. Vol. 96, № 4. P. 158-162.
  • Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Soifer V.A. Comparative analysis of different focusators into segment//Optics and Laser Technology. 1995. Vol. 27, № 4. P. 207-213.
  • Doskolovich L.L., Kazansky N.L., Kharitonov S.I., Soifer V.A. A method of designing diffractive optical elements focusing into plane areas//Journal of Modern Optics. 1996. V ol.43, № 7. P. 1423-1433.
Еще
Статья научная
QR-код для установки приложения SciUp Наведите камеру и скачайте бесплатное приложение SciUp